Abstract
Unter Verwendung der Augerelektronen-Spektrometrie wurde an Hand binärer Legierungen durch Ionenbombardment induzierte Oberflächenanreicherung nachgewiesen. Wenn die Massenzahlen der Komponenten nicht sehr unterschiedlich sind, wird im allgemeinen die Komponente mit dem niedrigeren Zerstäubungskoeffizienten an der Oberfläche angereichert. Dies konnte an 13 verschiedenen binären Legierungssystemen demonstriert werden. Die verwendeten Ionen sind Ne+, Ar+ und Xe+ mit 0.5, 2 und 5 keV Energie. Es konnte bei allen Legierungen gezeigt werden, dass mit steigender Ionenenergie die leichtere Komponente verstärkt an der Oberfläche angereichert wird. Dieser Effekt ist unabhängig von der verwendeten Ionenart und ist im Energiebereich von 0.5 bis 2 keV stärker ausgeprägt als zwischen 2 und 5 keV.
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Literatur
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Opitz, M., Betz, G. & Braun, P. Oberflächenanreicherung Beim Zerstäuben mit Verschiedenen Ionenenergien. Acta Physica 49, 119–125 (1980). https://doi.org/10.1007/BF03158725
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DOI: https://doi.org/10.1007/BF03158725