Abstract
Many breakthroughs in technologies are closely associated with the deep understanding and development of new material platforms. As the main material used in microelectronics, Si also plays a leading role in the development of integrated photonics. The indirect bandgap, absence of χ(2) nonlinearity and the parasitic nonlinear absorptions at the telecom band of Si imposed technological bottlenecks for further improving the performances and expanding the functionalities of Si microcavities in which the circulating light intensity is dramatically amplified. The past two decades have witnessed the burgeoning of the novel material platforms that are compatible with the complementary metal-oxide-semiconductor (COMS) process. In particular, the unprecedented optical properties of the emerging materials in the thin film form have resulted in revolutionary progress in microcavity photonics. In this review article, we summarize the recently developed material platforms for integrated photonics with the focus on chip-scale microcavity devices. The material characteristics, fabrication processes and device applications have been thoroughly discussed for the most widely used new material platforms. We also discuss open challenges and opportunities in microcavity photonics, such as heterogeneous integrated devices, and provide an outlook for the future development of integrated microcavities.
Article PDF
Similar content being viewed by others
Avoid common mistakes on your manuscript.
References
K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
J. Ward, and O. Benson, Laser Photon. Rev. 5, 553 (2011).
S. Feng, T. Lei, H. Chen, H. Cai, X. Luo, and A. W. Poon, Laser Photon. Rev. 6, 145 (2012).
Q. H. Song, Sci. China-Phys. Mech. Astron. 62, 074231 (2019).
P. W. Higgs, Phys. Rev. Lett. 13, 508 (1964).
F. Englert, and R. Brout, Phys. Rev. Lett. 13, 321 (1964).
A. Altland, and B. D. Simons, Condensed Matter Field Theory (Cambridge University Press, Cambridge, 2010).
Q. T. Cao, H. Wang, C. H. Dong, H. Jing, R. S. Liu, X. Chen, L. Ge, Q. Gong, and Y. F. Xiao, Phys. Rev. Lett. 118, 033901 (2017), arXiv: 1607.01459.
O. Painter, R. K. Lee, A. Scherer, A. Yariv, J. D. O’Brien, P. D. Dapkus, and I. Kim, Science 284, 1819 (1999).
R. F. Oulton, V. J. Sorger, T. Zentgraf, R. M. Ma, C. Gladden, L. Dai, G. Bartal, and X. Zhang, Nature 461, 629 (2009).
D. Liang, and J. E. Bowers, Nat. Photon. 4, 511 (2010).
L. He, Ş. K. Özdemir, and L. Yang, Laser Photon. Rev. 7, 60 (2013).
H. Rong, A. Liu, R. Jones, O. Cohen, D. Hak, R. Nicolaescu, A. Fang, and M. Paniccia, Nature 433, 292 (2005).
H. Rong, R. Jones, A. Liu, O. Cohen, D. Hak, A. Fang, and M. Paniccia, Nature 433, 725 (2005).
Y. Takahashi, Y. Inui, M. Chihara, T. Asano, R. Terawaki, and S. Noda, Nature 498, 470 (2013).
Q. Xu, B. Schmidt, S. Pradhan, and M. Lipson, Nature 435, 325 (2005).
J. T. Robinson, L. Chen, and M. Lipson, Opt. Express 16, 4296 (2018).
M. R. Lee, and P. M. Fauchet, Opt. Express 15, 4530 (2007).
E. Luan, H. Shoman, D. M. Ratner, K. C. Cheung, and L. Chrostowski, Sensors 18, 3519 (2018).
S. Chu, and B. Little, in High-index doped silica glass planar lightwave circuits: Proceedings of the OSA Advanced Photonics Congress 2021 (Optica Publishing Group, Washington, 2021).
B. E. Little, and S. T. Chu, Opt. Photon. News 11, 24 (2000).
D. J. Moss, R. Morandotti, A. L. Gaeta, and M. Lipson, Nat. Photon. 7, 597 (2013), arXiv: 1404.3775.
J. Li, H. Lee, T. Chen, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 109, 233901 (2012), arXiv: 1208.5256.
B. E. Little, S. T. Chu, P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, F. G. Johnson, F. Seiferth, D. Gill, V. van, O. King, and M. Trakalo, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 2263 (2004).
D. Duchesne, M. Peccianti, M. R. E. Lamont, M. Ferrera, L. Razzari, F. Légaré, R. Morandotti, S. Chu, B. E. Little, and D. J. Moss, Opt. Express 18, 923 (2010).
M. Peccianti, M. Ferrera, L. Razzari, R. Morandotti, B. E. Little, S. T. Chu, and D. J. Moss, Opt. Express 18, 7625 (2010).
A. Kovach, D. Chen, J. He, H. Choi, A. H. Dogan, M. Ghasemkhani, H. Taheri, and A. M. Armani, Adv. Opt. Photon. 12, 135 (2020), arXiv: 2001.00650.
Y. Xu, Y. Yang, X. Li, X. Wang, and W. Zou, Chin. Opt. Lett. 19, 113902 (2021).
L. Razzari, D. Duchesne, M. Ferrera, R. Morandotti, S. Chu, B. E. Little, and D. J. Moss, Nat. Photon. 4, 41 (2010).
A. Pasquazi, R. Ahmad, M. Rochette, M. Lamont, B. E. Little, S. T. Chu, R. Morandotti, and D. J. Moss, Opt. Express 18, 3858 (2010), arXiv: 1705.00778.
M. Kues, C. Reimer, B. Wetzel, P. Roztocki, B. E. Little, S. T. Chu, T. Hansson, E. A. Viktorov, D. J. Moss, and R. Morandotti, Nat. Photon. 11, 159 (2017).
Y. Li, S. H. Wang, Y. Tian, W. L. Ho, Y. Li, L. Wang, R. R. Davidson, B. E. Little, and S. T. Chu, Opt. Express 28, 641 (2020).
Z. Lu, W. Wang, W. Zhang, M. Liu, L. Wang, S. T. Chu, B. E. Little, J. Zhao, P. Xie, X. Wang, and W. Zhao, Opt. Mater. Express 8, 2662 (2018).
W. Wang, Z. Lu, W. Zhang, S. T. Chu, B. E. Little, L. Wang, X. Xie, M. Liu, Q. Yang, L. Wang, J. Zhao, G. Wang, Q. Sun, Y. Liu, Y. Wang, and W. Zhao, Opt. Lett. 43, 2002 (2018).
W. Wang, L. Wang, and W. Zhang, Adv. Photon. 2, 1 (2020).
X. Wang, P. Xie, W. Wang, Y. Wang, Z. Lu, L. Wang, S. T. Chu, B. E. Little, W. Zhao, and W. Zhang, Photon. Res. 9, 66 (2021).
X. Wang, P. Xie, W. Wang, Y. Wang, Z. Lu, L. Wang, S. T. Chu, B. E. Little, W. Zhao, and W. Zhang, Photon. Res. 9, 66 (2021).
W. Wang, W. Zhang, Z. Lu, S. T. Chu, B. E. Little, Q. Yang, L. Wang, and W. Zhao, Photon. Res. 6, 363 (2018).
Y. Zhao, L. Chen, C. Zhang, W. Wang, H. Hu, R. Wang, X. Wang, S. T. Chu, B. Little, W. Zhang, and X. Zhang, Laser Photon. Rev. 15, 2100264 (2021).
Y. Zhao, L. Chen, W. Wang, R. Wang, H. Hu, X. Wang, C. Zhang, W. Zhang, and X. Zhang, APL Photon. 5, 046102 (2020).
Z. Lu, H. J. Chen, W. Wang, L. Yao, Y. Wang, Y. Yu, B. E. Little, S. T. Chu, Q. Gong, W. Zhao, X. Yi, Y. F. Xiao, and W. Zhang, Nat. Commun. 12, 3179 (2021).
T. G. Nguyen, M. Shoeiby, S. T. Chu, B. E. Little, R. Morandotti, A. Mitchell, and D. J. Moss, Opt. Express 23, 22087 (2015), arXiv: 1512.01741.
X. Xu, M. Tan, J. Wu, T. G. Nguyen, S. T. Chu, B. E. Little, R. Morandotti, A. Mitchell, and D. J. Moss, J. Lightwave Technol. 37, 1288 (2019), arXiv: 1903.08541.
M. Tan, X. Xu, A. Boes, B. Corcoran, J. Wu, T. G. Nguyen, S. T. Chu, B. E. Little, R. Morandotti, A. Mitchell, and D. J. Moss, J. Lightwave Technol. 38, 6221 (2020).
J. Wang, Z. Lu, W. Wang, F. Zhang, J. Chen, Y. Wang, J. Zheng, S. T. Chu, W. Zhao, B. E. Little, X. Qu, and W. Zhang, Photon. Res. 8, 1964 (2020).
B. Corcoran, M. Tan, X. Xu, A. Boes, J. Wu, T. G. Nguyen, S. T. Chu, B. E. Little, R. Morandotti, A. Mitchell, and D. J. Moss, Nat. Commun. 11, 2568 (2020).
F. X. Wang, W. Wang, R. Niu, X. Wang, C. L. Zou, C. H. Dong, B. E. Little, S. T. Chu, H. Liu, P. Hao, S. Liu, S. Wang, Z. Q. Yin, D. Y. He, W. Zhang, W. Zhao, Z. F. Han, G. C. Guo, and W. Chen, Laser Photon. Rev. 14, 1900190 (2020), arXiv: 1812.11415.
M. Kues, C. Reimer, J. M. Lukens, W. J. Munro, A. M. Weiner, D. J. Moss, and R. Morandotti, Nat. Photon. 13, 170 (2019), arXiv: 2001.02356.
X. Xu, M. Tan, B. Corcoran, J. Wu, A. Boes, T. G. Nguyen, S. T. Chu, B. E. Little, D. G. Hicks, R. Morandotti, A. Mitchell, and D. J. Moss, Nature 589, 44 (2021), arXiv: 2011.07393.
C. G. H. Roeloffzen, M. Hoekman, E. J. Klein, L. S. Wevers, R. B. Timens, D. Marchenko, D. Geskus, R. Dekker, A. Alippi, R. Grootjans, A. van Rees, R. M. Oldenbeuving, J. P. Epping, R. G. Heideman, K. Worhoff, A. Leinse, D. Geuzebroek, E. Schreuder, P. W. L. van Dijk, I. Visscher, C. Taddei, Y. Fan, C. Taballione, Y. Liu, D. Marpaung, L. Zhuang, M. Benelajla, and K. J. Boller, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 1 (2018).
T. J. Kippenberg, A. L. Gaeta, M. Lipson, and M. L. Gorodetsky, Science 361, 567 (2018).
S. Wan, R. Niu, J. L. Peng, J. Li, G. C. Guo, C. L. Zou, and C. H. Dong, Chin. Opt. Lett. 20, 032201 (2022).
H. Zhou, Y. Geng, W. Cui, S. W. Huang, Q. Zhou, K. Qiu, and C. W. Wong, Light Sci. Appl. 8, 50 (2019).
M. Shen, K. Yin, R. Miao, Z. Xu, J. Yang, X. Zheng, and T. Jiang, in G eneration of a 100 GHz Kerr soliton frequency comb in an auxiliary laser assisted Si3N4micro-ring resonator: Proceedings of the Twelfth International Conference on Information Optics and Photonics (SPIE, Xi’an, 2021), Vol. 12057, pp. 843–846.
V. Brasch, M. Geiselmann, T. Herr, G. Lihachev, M. H. P. Pfeiffer, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Science 351, 357 (2015).
M. Yu, J. K. Jang, Y. Okawachi, A. G. Griffith, K. Luke, S. A. Miller, X. Ji, M. Lipson, and A. L. Gaeta, Nat. Commun. 8, 14569 (2017), arXiv: 1609.01760.
S. Wan, R. Niu, Z. Y. Wang, J. L. Peng, M. Li, J. Li, G. C. Guo, C. L. Zou, and C. H. Dong, Photon. Res. 8, 1342 (2020).
M. Karpov, M. H. P. Pfeiffer, H. Guo, W. Weng, J. Liu, and T. J. Kippenberg, Nat. Phys. 15, 1071 (2019), arXiv: 1903.07122.
Z. L. Newman, V. Maurice, T. Drake, J. R. Stone, T. C. Briles, D. T. Spencer, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, B. Shen, M. G. Suh, K. Y. Yang, C. Johnson, D. M. S. Johnson, L. Hollberg, K. J. Vahala, K. Srinivasan, S. A. Diddams, J. Kitching, S. B. Papp, and M. T. Hummon, Optica 6, 680 (2019).
J. Riemensberger, A. Lukashchuk, M. Karpov, W. Weng, E. Lucas, J. Liu, and T. J. Kippenberg, Nature 581, 164 (2020), arXiv: 1912.11374.
J. Liu, E. Lucas, A. S. Raja, J. He, J. Riemensberger, R. N. Wang, M. Karpov, H. Guo, R. Bouchand, and T. J. Kippenberg, Nat. Photon. 14, 486 (2020).
J. Liu, G. Huang, R. N. Wang, J. He, A. S. Raja, T. Liu, N. J. Engelsen, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 12, 2236 (2021), arXiv: 2005.13949.
B. Shen, L. Chang, J. Liu, H. Wang, Q. F. Yang, C. Xiang, R. N. Wang, J. He, T. Liu, W. Xie, J. Guo, D. Kinghorn, L. Wu, Q. X. Ji, T. J. Kippenberg, K. Vahala, and J. E. Bowers, Nature 582, 365 (2020).
C. Xiang, J. Liu, J. Guo, L. Chang, R. N. Wang, W. Weng, J. Peters, W. Xie, Z. Zhang, J. Riemensberger, J. Selvidge, T. J. Kippenberg, and J. E. Bowers, Science 373, 99 (2021).
Z. Ye, P. Zhao, K. Twayana, M. Karlsson, V. Torres-Company, and P. A. Andrekson, Sci. Adv. 7, eabi8150 (2021).
H. Guo, C. Herkommer, A. Billat, D. Grassani, C. Zhang, M. H. P. Pfeiffer, W. Weng, C. S. Brès, and T. J. Kippenberg, Nat. Photon. 12, 330 (2018).
Y. Okawachi, B. Y. Kim, Y. Zhao, X. Ji, M. Lipson, and A. L. Gaeta, Optica 8, 1458 (2021).
Y. Zhang, M. Menotti, K. Tan, V. D. Vaidya, D. H. Mahler, L. G. Helt, L. Zatti, M. Liscidini, B. Morrison, and Z. Vernon, Nat. Commun. 12, 2233 (2021), arXiv: 2001.09474.
W. Jin, Q. F. Yang, L. Chang, B. Shen, H. Wang, M. A. Leal, L. Wu, M. Gao, A. Feshali, M. Paniccia, K. J. Vahala, and J. E. Bowers, Nat. Photon. 15, 346 (2021), arXiv: 2009.07390.
X. Ji, X. Yao, Y. Gan, A. Mohanty, M. A. Tadayon, C. P. Hendon, and M. Lipson, APL Photon. 4, 090803 (2019).
A. Rao, G. Moffle, X. Lu, D. A. Westly, D. Sacchetto, M. Geiselmann, M. Zervas, S. B. Papp, J. Bowers, and K. Srinivasan, Light Sci. Appl. 10, 109 (2021), arXiv: 2010.09479.
G. Liang, H. Huang, A. Mohanty, M. C. Shin, X. Ji, M. J. Carter, S. Shrestha, M. Lipson, and N. Yu, Nat. Photon. 15, 908 (2021).
Z. He, B. Chen, Y. Hua, Z. Liu, Y. Wei, S. Liu, A. Hu, X. Shen, Y. Zhang, Y. Gao, and J. Liu, Adv. Opt. Mater. 8, 2000453 (2020).
H. Tian, J. Liu, A. Siddharth, R. N. Wang, T. Blésin, J. He, T. J. Kippenberg, and S. A. Bhave, Nat. Photon. 15, 828 (2021), arXiv: 2104.01158.
Z. Wu, T. Zhang, Y. Chen, Y. Zhang, and S. Yu, Phys. Status Solidi RRL 13, 1800338 (2019).
H. Jung, C. Xiong, K. Y. Fong, X. Zhang, and H. X. Tang, Opt. Lett. 38, 2810 (2013).
C. Xiong, W. H. P. Pernice, X. Sun, C. Schuck, K. Y. Fong, and H. X. Tang, New J. Phys. 14, 095014 (2012), arXiv: 1210.0975.
X. Guo, C. L. Zou, and H. X. Tang, Optica 3, 1126 (2016).
A. W. Bruch, X. Liu, J. B. Surya, C. L. Zou, and H. X. Tang, Optica 6, 1361 (2019), arXiv: 1909.07422.
J. Q. Wang, Y. H. Yang, M. Li, X. X. Hu, J. B. Surya, X. B. Xu, C. H. Dong, G. C. Guo, H. X. Tang, and C. L. Zou, Phys. Rev. Lett. 126, 133601 (2021), arXiv: 2011.10352.
X. Liu, Z. Gong, A. W. Bruch, J. B. Surya, J. Lu, and H. X. Tang, Nat. Commun. 12, 5428 (2021), arXiv: 2012.13496.
H. Weng, A. A. Afridi, J. Liu, J. Li, J. Dai, X. Ma, Y. Zhang, Q. Lu, W. Guo, and J. F. Donegan, Opt. Lett. 46, 3436 (2021), arXiv: 2102.10311.
L. Fan, C. L. Zou, R. Cheng, X. Guo, X. Han, Z. Gong, S. Wang, and H. X. Tang, Sci. Adv. 4, eaar4994 (2018), arXiv: 1805.04509.
Z. Shen, X. Han, C. L. Zou, and H. X. Tang, Rev. Sci. Instrum. 88, 123709 (2017), arXiv: 1712.01273.
X. Liu, C. Sun, B. Xiong, L. Wang, J. Wang, Y. Han, Z. Hao, H. Li, Y. Luo, J. Yan, T. Wei, Y. Zhang, and J. Wang, Optica 4, 893 (2017).
A. W. Bruch, X. Liu, Z. Gong, J. B. Surya, M. Li, C. L. Zou, and H. X. Tang, Nat. Photon. 15, 21 (2021), arXiv: 2004.07708.
Z. Gong, A. W. Bruch, F. Yang, M. Li, J. Lu, J. B. Surya, C. L. Zou, and H. X. Tang, Opt. Lett. 47, 746 (2022).
K. C. Balram, M. I. Davanço, J. D. Song, and K. Srinivasan, Nat. Photon. 10, 346 (2016).
X. Han, W. Fu, C. Zhong, C. L. Zou, Y. Xu, A. A. Sayem, M. Xu, S. Wang, R. Cheng, L. Jiang, and H. X. Tang, Nat. Commun. 11, 3237 (2020), arXiv: 2001.09483.
T. J. Lu, B. Lienhard, K. Y. Jeong, H. Moon, A. Iranmanesh, G. Grosso, and D. Englund, ACS Photon. 7, 2650 (2020).
D. Zhu, Q. Y. Zhao, H. Choi, T. J. Lu, A. E. Dane, D. Englund, and K. K. Berggren, Nat. Nanotech. 13, 596 (2018), arXiv: 1711.10546.
R. Cheng, J. Wright, H. G. Xing, D. Jena, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 117, 132601 (2020), arXiv: 2006.09643.
S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
R. Adair, L. L. Chase, and S. A. Payne, Phys. Rev. B 39, 3337 (1989).
D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photon. 14, 330 (2020).
D. M. Lukin, M. A. Guidry, and J. Vučković, PRX Quantum 1, 020102 (2020).
A. Bourassa, C. P. Anderson, K. C. Miao, M. Onizhuk, H. Ma, A. L. Crook, H. Abe, J. Ul-Hassan, T. Ohshima, N. T. Son, G. Gaffi, and D. D. Awschalom, Nat. Mater. 19, 1319 (2020), arXiv: 2005.07602.
C. Wang, Z. Fang, A. Yi, B. Yang, Z. Wang, L. Zhou, C. Shen, Y. Zhu, Y. Zhou, R. Bao, Z. Li, Y. Chen, K. Huang, J. Zhang, Y. Cheng, and X. Ou, Light Sci. Appl. 10, 139 (2021).
A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020), arXiv: 2003.00042.
C. Wang, C. Shen, A. Yi, S. Yang, L. Zhou, Y. Zhu, K. Huang, S. Song, M. Zhou, J. Zhang, and X. Ou, Opt. Lett. 46, 2952 (2021), arXiv: 2103.04547.
X. Lu, J. Y. Lee, P. X. L. Feng, and Q. Lin, Opt. Lett. 38, 1304 (2013).
B. S. Song, S. Yamada, T. Asano, and S. Noda, Opt. Express 19, 11084 (2011).
A. Yi, Y. Zheng, H. Huang, J. Lin, Y. Yan, T. You, K. Huang, S. Zhang, C. Shen, M. Zhou, W. Huang, J. Zhang, S. Zhou, H. Ou, and X. Ou, Opt. Mater. 107, 109990 (2020).
Y. Zheng, M. Pu, A. Yi, B. Chang, T. You, K. Huang, A. N. Kamel, M. R. Henriksen, A. A. Jørgensen, X. Ou, and H. Ou, Opt. Express 27, 13053 (2019).
T. Fan, H. Moradinejad, X. Wu, A. A. Eftekhar, and A. Adibi, Opt. Express 26, 25814 (2018).
B. S. Song, T. Asano, S. Jeon, H. Kim, C. Chen, D. D. Kang, and S. Noda, Optica 6, 991 (2019).
D. M. Lukin, M. A. Guidry, J. Yang, M. Ghezellou, S. D. Mishra, H. Abe, T. Ohshima, J. Ul-Hassan, and J. Vuovi, arXiv: 2202.04845.
M. A. Guidry, D. M. Lukin, K. Y. Yang, R. Trivedi, and J. Vučković, Nat. Photon. 16, 52 (2022), arXiv: 2103.10517.
C. Babin, R. Stöhr, N. Morioka, T. Linkewitz, T. Steidl, R. Wörnle, D. Liu, E. Hesselmeier, V. Vorobyov, A. Denisenko, M. Hentschel, C. Gobert, P. Berwian, G. V. Astakhov, W. Knolle, S. Majety, P. Saha, M. Radulaski, N. T. Son, J. Ul-Hassan, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 21, 67 (2022), arXiv: 2109.04737.
D. Zhu, L. Shao, M. Yu, R. Cheng, B. Desiatov, C. J. Xin, Y. Hu, J. Holzgrafe, S. Ghosh, A. Shams-Ansari, E. Puma, N. Sinclair, C. Reimer, M. Zhang, and M. Lončar, Adv. Opt. Photon. 13, 242 (2021), arXiv: 2102.11956.
J. Lin, F. Bo, Y. Cheng, and J. Xu, Photon. Res. 8, 1910 (2020).
J. Zhang, Z. Fang, J. Lin, J. Zhou, M. Wang, R. Wu, R. Gao, and Y. Cheng, Nanomaterials 9, 1218 (2019).
J. Wang, Z. Liu, J. Xiang, B. Chen, Y. Wei, W. Liu, Y. Xu, S. Lan, and J. Liu, Nanophotonics 10, 4273 (2021).
B. Y. Xu, L. K. Chen, J. T. Lin, L. T. Feng, R. Niu, Z. Y. Zhou, R. H. Gao, C. H. Dong, G. C. Guo, Q. H. Gong, Y. Cheng, Y. F. Xiao, and X. F. Ren, Sci. China-Phys. Mech. Astron. 65, 294262 (2022).
A. Guarino, G. Poberaj, D. Rezzonico, R. Degl’Innocenti, and P. Günter, Nat. Photon. 1, 407 (2007), arXiv: 0705.2392.
J. Wang, F. Bo, S. Wan, W. Li, F. Gao, J. Li, G. Zhang, and J. Xu, Opt. Express 23, 23072 (2015).
M. Zhang, C. Wang, R. Cheng, A. Shams-Ansari, and M. Lončar, Optica 4, 1536 (2017), arXiv: 1712.04479.
R. Wu, J. Zhang, N. Yao, W. Fang, L. Qiao, Z. Chai, J. Lin, and Y. Cheng, Opt. Lett. 43, 4116 (2018), arXiv: 1806.00099.
Z. Hao, J. Wang, S. Ma, W. Mao, F. Bo, F. Gao, G. Zhang, and J. Xu, Photon. Res. 5, 623 (2017).
Z. Z. Hao, L. Zhang, A. Gao, W. B. Mao, X. D. Lyu, X. M. Gao, F. Bo, F. Gao, G. Q. Zhang, and J. J. Xu, Sci. China-Phys. Mech. Astron. 61, 114211 (2018).
J. Lin, N. Yao, Z. Hao, J. Zhang, W. Mao, M. Wang, W. Chu, R. Wu, Z. Fang, L. Qiao, W. Fang, F. Bo, and Y. Cheng, Phys. Rev. Lett. 122, 173903 (2019).
J. Lu, J. B. Surya, X. Liu, A. W. Bruch, Z. Gong, Y. Xu, and H. X. Tang, Optica 6, 1455 (2019), arXiv: 1911.00083.
J. Y. Chen, Z. H. Ma, Y. M. Sua, Z. Li, C. Tang, and Y. P. Huang, Optica 6, 1244 (2019).
J. Lu, M. Li, C. L. Zou, A. Al Sayem, and H. X. Tang, Optica 7, 1654 (2020), arXiv: 2007.07411.
R. Wolf, I. Breunig, H. Zappe, and K. Buse, Opt. Express 25, 29927 (2017).
Z. Ma, J. Y. Chen, Z. Li, C. Tang, Y. M. Sua, H. Fan, and Y. P. Huang, Phys. Rev. Lett. 125, 263602 (2020), arXiv: 2010.04242.
Y. He, Q. F. Yang, J. Ling, R. Luo, H. Liang, M. Li, B. Shen, H. Wang, K. Vahala, and Q. Lin, Optica 6, 1138 (2019), arXiv: 1812.09610.
M. Zhang, B. Buscaino, C. Wang, A. Shams-Ansari, C. Reimer, R. Zhu, J. M. Kahn, and M. Lončar, Nature 568, 373 (2019), arXiv: 1809.08636.
Z. Wang, Z. Fang, Z. Liu, W. Chu, Y. Zhou, J. Zhang, R. Wu, M. Wang, T. Lu, and Y. Cheng, Opt. Lett. 46, 380 (2021).
Y. A. Liu, X. S. Yan, J. W. Wu, B. Zhu, Y. P. Chen, and X. F. Chen, Sci. China-Phys. Mech. Astron. 64, 234262 (2021), arXiv: 2009.12900.
Q. Luo, Z. Z. Hao, C. Yang, R. Zhang, D. H. Zheng, S. G. Liu, H. D. Liu, F. Bo, Y. F. Kong, G. Q. Zhang, and J. J. Xu, Sci. China-Phys. Mech. Astron. 64, 234263 (2021).
Y. Zhou, Z. Wang, Z. Fang, Z. Liu, H. Zhang, D. Yin, Y. Liang, Z. Zhang, J. Liu, T. Huang, R. Bao, R. Wu, J. Lin, M. Wang, and Y. Cheng, Opt. Lett. 46, 5651 (2021), arXiv: 2108.06003.
T. Li, K. Wu, M. Cai, Z. Xiao, H. Zhang, C. Li, J. Xiang, Y. Huang, and J. Chen, APL Photon. 6, 101301 (2021), arXiv: 2106.11666.
R. Zhang, C. Yang, Z. Z. Hao, D. Jia, Q. Luo, D. H. Zheng, H. D. Liu, X. Y. Yu, F. Gao, F. Bo, Y. F. Kong, G. Q. Zhang, and J. J. Xu, Sci. China-Phys. Mech. Astron. 64, 294216 (2021), arXiv: 2106.04933.
R. W. Boyd, Nonlinear Optics (Academic Press, San Diego, 2008).
S. Calvez, G. Lafleur, A. Larrue, P. F. Calmon, A. Arnoult, G. Al-muneau, and O. Gauthier-Lafaye, IEEE Photon. Technol. Lett. 27, 982 (2015)..
C. Ozanam, M. Savanier, L. Lanco, X. Lafosse, A. Andronico, I. Favero, S. Ducci, and G. Leo, in Near-infrared OPO in an Al-GaAs/AlOx waveguide: Proceedings of the Quantum Sensing and Nanophotonic Devices XI (SPIE, San Francisco, 2014), Vol. 8993, p. 899306.
M. R. Krames, A. D. Minervini, and N. Holonyak Jr., Appl. Phys. Lett. 67, 73 (1995).
P. Jiang, and K. C. Balram, Opt. Express 28, 12262 (2020), arXiv: 1912.05301.
B. Guha, F. Marsault, F. Cadiz, L. Morgenroth, V. Ulin, V. Berkovitz, A. Lemare, C. Gomez, A. Amo, S. Combrié, B. Gérard, G. Leo, and I. Favero, Optica 4, 218 (2017), arXiv: 1605.00477.
P. S. Kuo, J. Bravo-Abad, and G. S. Solomon, Nat. Commun. 5, 3109 (2014).
M. Pu, L. Ottaviano, E. Semenova, and K. Yvind, Optica 3, 823 (2016).
L. Chang, W. Xie, H. Shu, Q. F. Yang, B. Shen, A. Boes, J. D. Peters, W. Jin, C. Xiang, S. Liu, G. Moille, S. P. Yu, X. Wang, K. Srinivasan, S. B. Papp, K. Vahala, and J. E. Bowers, Nat. Commun. 11, 1331 (2020), arXiv: 1909.09778.
L. Chang, A. Boes, P. Pintas, J. D. Peters, M. J. Kennedy, X. W. Guo, N. Volet, S. P. Yu, S. B. Papp, and J. E. Bowers, APL Photon. 4, 036103 (2019).
L. Chang, A. Boes, X. Guo, D. T. Spencer, M. J. Kennedy, J. D. Peters, N. Volet, J. Chiles, A. Kowligy, N. Nader, D. D. Hickstein, E. J. Stanton, S. A. Diddams, S. B. Papp, and J. E. Bowers, Laser Photon. Rev. 12, 1800149 (2018), arXiv: 1805.09379.
W. Xie, L. Chang, H. Shu, J. C. Norman, J. D. Peters, X. Wang, and J. E. Bowers, Opt. Express 28, 32894 (2020), arXiv: 2004.14537.
H. Shu, L. Chang, C. Lao, B. Shen, W. Xie, X. Zhang, M. Jin, Y. Tao, R. Chen, Z. Tao, S. Yu, Q.-F. Yang, X. Wang, and J. E. Bowers, arXiv: 2112.08904.
T. J. Steiner, J. E. Castro, L. Chang, Q. Dang, W. Xie, J. Norman, J. E. Bowers, and G. Moody, PRX Quantum 2, 010337 (2021).
K. Fang, and M. Zhao, arXiv: 2105.12705.
L. Chang, G. D. Cole, G. Moody, and J. E. Bowers, Opt. Photon. News 33, 24 (2022).
R. Zhang, J. Fan, X. Zhang, H. Yu, H. Zhang, Y. Mai, T. Xu, J. Wang, and H. J. Snaith, ACS Photon. 3, 371 (2016).
G. Xing, N. Mathews, S. S. Lim, N. Yantara, X. Liu, D. Sabba, M. Grätzel, S. Mhaisalkar, and T. C. Sum, Nat. Mater. 13, 476 (2014).
H. Min, D. Y. Lee, J. Kim, G. Kim, K. S. Lee, J. Kim, M. J. Paik, Y. K. Kim, K. S. Kim, M. G. Kim, T. J. Shin, and S. B Seok, Nature 598, 444 (2021).
D. Ma, K. Lin, Y. Dong, H. Choubisa, A. H. Proppe, D. Wu, Y. K. Wang, B. Chen, P. Li, J. Z. Fan, F. Yuan, A. Johnston, Y. Liu, Y. Kang, Z. H. Lu, Z. Wei, and E. H. Sargent, Nature 599, 594 (2021).
H. Cha, S. Bae, M. Lee, and H. Jeon, Appl. Phys. Lett. 108, 181104 (2016).
M. Saliba, S. M. Wood, J. B. Patel, P. K. Nayak, J. Huang, J. A. Alexander-Webber, B. Wenger, S. D. Stranks, M. T. Hörantner, J. T. W. Wang, R. J. Nicholas, L. M. Herz, M. B. Johnston, S. M. Morris, H. J. Snaith, and M. K. Riede, Adv. Mater. 28, 923 (2016).
B. R. Sutherland, S. Hoogland, M. M. Adachi, C. T. O. Wong, and E. H. Sargent, ACS Nano 8, 10947 (2014).
K. Wang, G. Xing, Q. Song, and S. Xiao, Adv. Mater. 33, 2000306 (2021).
N. Zhang, W. Sun, S. P. Rodrigues, K. Wang, Z. Gu, S. Wang, W. Cai, S. Xiao, and Q. Song, Adv. Mater. 29, 1606205 (2017).
P. J. Cegielski, A. L. Giesecke, S. Neutzner, C. Porschatis, M. Gandini, D. Schall, C. A. R. Perini, J. Bolten, S. Suckow, S. Kataria, B. Chmielak, T. Wahlbrink, A. Petrozza, and M. C. Lemme, Nano Lett. 18, 6915 (2018), arXiv: 1907.08058.
S. Wang, Y. Liu, G. Li, J. Zhang, N. Zhang, S. Xiao, and Q. Song, Adv. Opt. Mater. 6, 1701266 (2018).
Y. Gao, C. Huang, C. Hao, S. Sun, L. Zhang, C. Zhang, Z. Duan, K. Wang, Z. Jin, N. Zhang, A. V. Kildishev, C. W. Qiu, Q. Song, and S. Xiao, ACS Nano 12, 8847 (2018).
Y. Fan, Y. Wang, N. Zhang, W. Sun, Y. Gao, C. W. Qiu, Q. Song, and S. Xiao, Nat. Commun. 10, 2085 (2019).
C. Huang, C. Zhang, S. Xiao, Y. Wang, Y. Fan, Y. Liu, N. Zhang, G. Qu, H. Ji, J. Han, L. Ge, Y. Kivshar, and Q. Song, Science 367, 1018 (2020).
J. Tian, G. Adamo, H. Liu, M. Klein, S. Han, H. Liu, and C. Soci, Adv. Mater. 34, 2109157 (2022).
F. Xia, H. Wang, D. Xiao, M. Dubey, and A. Ramasubramaniam, Nat. Photon. 8, 899 (2014), arXiv: 1410.3882.
T. Tan, X. Jiang, C. Wang, B. Yao, and H. Zhang, Adv. Sci. 7, 2000058 (2020).
M. Zhu, Y. Zhao, Q. Feng, H. Lu, S. Zhang, N. Zhang, C. Ma, J. Li, J. Zheng, J. Zhang, H. Xu, T. Zhai, and J. Zhao, Small 15, 1903159 (2019).
Z. Liu, J. Wang, B. Chen, Y. Wei, W. Liu, and J. Liu, Nano Lett. 21, 7405 (2021).
I. Datta, S. H. Chae, G. R. Bhatt, M. A. Tadayon, B. Li, Y. Yu, C. Park, J. Park, L. Cao, D. N. Basov, J. Hone, and M. Lipson, Nat. Photon. 14, 256 (2020), arXiv: 1906.00459.
J. H. Chen, Y. F. Xiong, F. Xu, and Y. Q. Lu, Light Sci. Appl. 10, 78 (2021).
L. Wang, X. Zhou, S. Yang, G. Huang, and Y. Mei, Photon. Res. 7, 905 (2019).
Y. Liu, Y. Huang, and X. Duan, Nature 567, 323 (2019).
B. Yao, Y. Liu, S. W. Huang, C. Choi, Z. Xie, J. Flor Flores, Y. Wu, M. Yu, D. L. Kwong, Y. Huang, Y. Rao, X. Duan, and C. W. Wong, Nat. Photon. 12, 22 (2018), arXiv: 1710.01940.
Y. Guo, B. Han, J. Du, S. Cao, H. Gao, N. An, C. Qin, Y. Li, Y, Rao, and B. Yao, in Kilometers long graphene coated optical fibers for fast temperature sensing: Proceedings of the 2020 Asia Communications and Photonics Conference (ACP) and International Conference on Information Photonics and Optical Communications (IPOC) (Beijing, 2020).
C. T. Phare, Y. H. Daniel Lee, J. Cardenas, and M. Lipson, Nat. Photon. 9, 511 (2015).
B. Yao, S. W. Huang, Y. Liu, A. K. Vinod, C. Choi, M. Hoff, Y. Li, M. Yu, Z. Feng, D. L. Kwong, Y. Huang, Y. Rao, X. Duan, and C. W. Wong, Nature 558, 410 (2018).
J. He, I. Paradisanos, T. Liu, A. R. Cadore, J. Liu, M. Churaev, R. N. Wang, A. S. Raja, C. Javerzac-Galy, P. Roelli, D. D. Fazio, B. L. T. Rosa, S. Tongay, G. Soavi, A. C. Ferrari, and T. J. Kippenberg, Nano Lett. 21, 2709 (2021), arXiv: 2010.06014.
B. Yao, C. Yu, Y. Wu, S. W. Huang, H. Wu, Y. Gong, Y. Chen, Y. Li, C. W. Wong, X. Fan, and Y. Rao, Nano Lett. 17, 4996 (2017).
Z. Cao, B. Yao, C. Qin, R. Yang, Y. Guo, Y. Zhang, Y. Wu, L. Bi, Y. Chen, Z. Xie, G. Peng, S. W. Huang, C. W. Wong, and Y. Rao, Light Sci. Appl. 8, 107 (2019).
C. Javerzac-Galy, A. Kumar, R. D. Schilling, N. Piro, S. Khorasani, M. Barbone, I. Goykhman, J. B. Khurgin, A. C. Ferrari, and T. J. Kippenberg, Nano Lett. 18, 3138 (2018), arXiv: 1710.04294.
T. Tan, Z. Yuan, H. Zhang, G. Yan, S. Zhou, N. An, B. Peng, G. Soavi, Y. Rao, and B. Yao, Nat. Commun. 12, 6716 (2021).
Y. Ye, Z. J. Wong, X. Lu, X. Ni, H. Zhu, X. Chen, Y. Wang, and X. Zhang, Nat. Photon. 9, 733 (2015), arXiv: 1503.06141.
T. Ren, P. Song, J. Chen, and K. P. Loh, ACS Photon. 5, 353 (2018).
A. Martinez, and S. Yamashita, Appl. Phys. Lett. 101, 041118 (2012).
C. Qin, K. Jia, Q. Li, T. Tan, X. Wang, Y. Guo, S. W. Huang, Y. Liu, S. Zhu, Z. Xie, Y. Rao, and B. Yao, Light Sci. Appl. 9, 185 (2020).
Y. Guo, N. An, K. Guo, Y. Li, Y. Liang, C. Wu, Y. Wang, J. He, Y. Wang, T. Tan, Y. Rao, and B. Yao, Sens. Actuat. B-Chem. 348, 130694 (2021).
J. M. Hales, J. Matichak, S. Barlow, S. Ohira, K. Yesudas, J. L. Brédas, J. W. Perry, and S. R. Marder, Science 327, 1485 (2010).
D. L. Elder, and L. R. Dalton, Ind. Eng. Chem. Res. 61, 1207 (2022).
G. W. Lu, J. Hong, F. Qiu, A. M. Spring, T. Kashino, J. Oshima, M. A. Ozawa, H. Nawata, and S. Yokoyama, Nat. Commun. 11, 4224 (2020).
X. Hu, P. Jiang, C. Ding, H. Yang, and Q. Gong, Nat. Photon. 2, 185 (2008).
C. Koos, P. Vorreau, T. Vallaitis, P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, B. Esembeson, I. Biaggio, T. Michinobu, F. Diederich, W. Freude, and J. Leuthold, Nat. Photon. 3, 216 (2009).
Y. Wang, S. He, X. Gao, P. Ye, L. Lei, W. Dong, X. Zhang, and P. Xu, Photon. Res. 10, 50 (2022).
X. Shen, R. C. Beltran, V. M. Diep, S. Soltani, and A. M. Armani, Sci. Adv. 4, eaao4507 (2018).
J. H. Chen, X. Shen, S. J. Tang, Q. T. Cao, Q. Gong, and Y. F. Xiao, Phys. Rev. Lett. 123, 173902 (2019).
Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K. Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photon. 1, 180 (2007).
A. W. Zhou, and J. Y. Fan, Sci. China Math. 58, 1 (2015).
F. Gu, F. Xie, X. Lin, S. Linghu, W. Fang, H. Zeng, L. Tong, and S. Zhuang, Light Sci. Appl. 6, e17061 (2017).
X. Jiang, and L. Yang, Light Sci. Appl. 9, 24 (2020), arXiv: 1911.06789.
T. Grossmann, S. Klinkhammer, M. Hauser, D. Floess, T. Beck, C. Vannahme, T. Mappes, U. Lemmer, and H. Kalt, Opt. Express 19, 10009 (2011)..
D. Chen, A. Kovach, X. Shen, S. Poust, and A. M. Armani, ACS Photon. 4, 2376 (2017).
X. Zhang, H. Luo, W. Xiong, X. Chen, X. Han, G. Xiao, and H. Feng, Phys. Rev. A 103, 023515 (2021).
X. Shen, H. Choi, D. Chen, W. Zhao, and A. M. Armani, Nat. Photon. 14, 95 (2020), arXiv: 1911.07777.
L. H. Gao, X. Chen, S. Lu, and K. Z. Wang, J. Nanosci. Nanotech. 14, 3808 (2014).
N. Peor, R. Sfez, and S. Yitzchaik, J. Am. Chem. Soc. 130, 4158 (2008).
B. J. M. Hausmann, I. Bulu, V. Venkataraman, P. Deotare, and M. Lončar, Nat. Photon. 8, 369 (2014).
J. Wang, F. Sciarrino, A. Laing, and M. G. Thompson, Nat. Photon. 14, 273 (2020), arXiv: 2005.01948.
M. W. Doherty, N. B. Manson, P. Delaney, F. Jelezko, J. Wrachtrup, and L. C. L. Hollenberg, Phys. Rep. 528, 1 (2013), arXiv: 1302.3288.
C. Bradac, W. Gao, J. Forneris, M. E. Trusheim, and I. Aharonovich, Nat. Commun. 10, 5625 (2019).
M. K. Bhaskar, D. D. Sukachev, A. Sipahigil, R. E. Evans, M. J. Burek, C. T. Nguyen, L. J. Rogers, P. Siyushev, M. H. Metsch, H. Park, F. Jelezko, M. Lončar, and M. D. Lukin, Phys. Rev. Lett. 118, 223603 (2017), arXiv: 1612.03036.
P. Siyushev, M. H. Metsch, A. Ijaz, J. M. Binder, M. K. Bhaskar, D. D. Sukachev, A. Sipahigil, R. E. Evans, C. T. Nguyen, M. D. Lukin, P. R. Hemmer, Y. N. Palyanov, I. N. Kupriyanov, Y. M. Borzdov, L. J. Rogers, and F. Jelezko, Phys. Rev. B 96, 081201 (2017), arXiv: 1612.02947.
K. Bray, B. Regan, A. Trycz, R. Previdi, G. Seniutinas, K. Ganesan, M. Kianinia, S. Kim, and I. Aharonovich, ACS Photon. 5, 4817 (2018).
M. Nguyen, N. Nikolay, C. Bradac, M. Kianinia, E. A. Ekimov, N. Mendelson, O. Benson, and I. Aharonovich, Adv. Photon. 1, 1 (2019).
T. T. Toan, B. Regan, and C. Bradac, in CLEO: Science and Innovations: Proceedings Conference on Lasers and Electro-Optics Part of CLEO: 2019, San Jose, 2019
A. Trycz, B. Regan, M. Kianinia, K. Bray, M. Toth, and I. Aharonovich, Opt. Mater. Express 9, 4708 (2019).
M. J. Burek, C. Meuwly, R. E. Evans, M. K. Bhaskar, A. Sipahigil, S. Meesala, B. Machielse, D. D. Sukachev, C. T. Nguyen, J. L. Pacheco, E. Bielejec, M. D. Lukin, and M. Lončar, Phys. Rev. Appl. 8, 024026 (2017), arXiv: 1612.05285.
S. Häußler, J. Benedikter, K. Bray, B. Regan, A. Dietrich, J. Twamley, I. Aharonovich, D. Hunger, and A. Kubanek, Phys. Rev. B 99, 165310 (2019), arXiv: 1812.02426.
E. Janitz, M. Ruf, Y. Fontana, J. Sankey, and L. Childress, Opt. Express 25, 20932 (2017).
D. Milewska, K. Karpienko, and M. Jçdrzejewska-Szczerska, Diamond Relat. Mater. 64, 169 (2016).
P. Latawiec, V. Venkataraman, M. J. Burek, B. J. M. Hausmann, I. Bulu, and M. Lončar, Optica 2, 924 (2015), arXiv: 1509.00373.
Z. Tian, P. Zhang, and X. W. Chen, Phys. Rev. Appl. 15, 054043 (2021).
I. Aharonovich, J. C. Lee, A. P. Magyar, B. B. Buckley, C. G. Yale, D. D. Awschalom, and E. L. Hu, Adv. Mater. 24, OP54 (2012).
P. Hill, E. Gu, M. D. Dawson, and M. J. Strain, Diamond Relat. Mater. 88, 215 (2018).
A. Butcher, X. Guo, R. Shreiner, N. Delegan, K. Hao, I. Duda Peter J., D. D. Awschalom, F. J. Heremans, and A. A. High, Nano Lett. 20, 4603 (2020), arXiv: 2004.03532.
M. Challier, S. Sonusen, A. Barfuss, D. Rohner, D. Riedel, J. Koelbl, M. Ganzhorn, P. Appel, P. Maletinsky, and E. Neu, Micromachines 9, 148 (2018).
J. C. Lee, A. P. Magyar, D. O. Bracher, I. Aharonovich, and E. L. Hu, Diamond Relat. Mater. 33, 45 (2013), arXiv: 1210.0125.
A. P. Magyar, J. C. Lee, A. M. Limarga, I. Aharonovich, F. Rol, D. R. Clarke, M. Huang, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 99, 081913 (2011), arXiv: 1108.0738.
B. Regan, S. Kim, A. T. H. Ly, A. Trycz, K. Bray, K. Ganesan, M. Toth, and I. Aharonovich, InfoMat 2, 1241 (2020).
D. Englund, B. Shields, K. Rivoire, F. Hatami, J. Vučković, H. Park, and M. D. Lukin, Nano Lett. 10, 3922 (2010), arXiv: 1005.2204.
T. Gaebel, M. Domhan, I. Popa, C. Wittmann, P. Neumann, F. Jelezko, J. R. Rabeau, N. Stavrias, A. D. Greentree, S. Prawer, J. Meijer, J. Twamley, P. R. Hemmer, and J. Wrachtrup, Nat. Phys. 2, 408 (2006)., arXiv: quant-ph/0605038.
S. Johnson, P. R. Dolan, T. Grange, A. A. P. Trichet, G. Hornecker, Y. C. Chen, L. Weng, G. M. Hughes, A. A. R. Watt, A. Auffèves, and J. M. Smith, New J. Phys. 17, 122003 (2015), arXiv: 1506.05161.
K. Kuruma, B. Pingault, C. Chia, D. Renaud, P. Hoffmann, S. Iwamoto, C. Ronning, and M. Lončar, Appl. Phys. Lett. 118, 230601 (2021), arXiv: 2105.01715.
J. C. Lee, D. O. Bracher, S. Cui, K. Ohno, C. A. McLellan, X. Zhang, P. Andrich, B. Alemán, K. J. Russell, A. P. Magyar, I. Aharonovich, A. Bleszynski Jayich, D. Awschalom, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 105, 261101 (2014), arXiv: 1411.0725.
J. Riedrich-Möller, C. Arend, C. Pauly, F. Mücklich, M. Fischer, S. Gsell, M. Schreck, and C. Becher, Nano Lett. 14, 5281 (2014), arXiv: 1408.1803.
N. H. Wan, T.-J. Lu, K. C. Chen, M. P. Walsh, M. E. Trusheim, L. De Santis, E. A. Bersin, I. B. Harris, S. L. Mouradian, I. R. Christen, E. S. Bielejec, and D. Englund, Nature 583, 226 (2020).
P. E. Barclay, C. Santori, K. M. Fu, R. G. Beausoleil, and O. Painter, Opt. Express 17, 8081 (2009), arXiv: 0812.4505.
M. E. Trusheim, B. Pingault, N. H. Wan, M. Gündoğan, L. De Santis, R. Debroux, D. Gangloff, C. Purser, K. C. Chen, M. Walsh, J. J. Rose, J. N. Becker, B. Lienhard, E. Bersin, I. Paradeisanos, G. Wang, D. Lyzwa, A. R. P. Montblanch, G. Malladi, H. Bakhru, A. C. Ferrari, I. A. Walmsley, M. Atatüre, and D. Englund, Phys. Rev. Lett. 124, 023602 (2020).
Y. Zhou, A. Rasmita, K. Li, Q. Xiong, I. Aharonovich, and W. B. Gao, Nat. Commun. 8, 14451 (2017), arXiv: 1610.00882.
X. Zhu, S. Saito, A. Kemp, K. Kakuyanagi, S. I. Karimoto, H. Nakano, W. J. Munro, Y. Tokura, M. S. Everitt, K. Nemoto, M. Kasu, N. Mizuochi, and K. Semba, Nature 478, 221 (2011), arXiv: 1111.5399.
C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
S. Castelletto, L. Rosa, J. Blackledge, M. Z. Al Abri, and A. Boretti, Microsyst. Nanoeng. 3, 17061 (2017).
P. Latawiec, M. J. Burek, Y. I. Sohn, and M. Lončar, J. Vacuum Sci. Tech. B 34, 041801 (2020).
S. Mi, M. Kiss, T. Graziosi, and N. Quack, J. Phys. Photon. 2, 042001 (2020).
A. H. Piracha, P. Rath, K. Ganesan, S. Kühn, W. H. P. Pernice, and S. Prawer, Nano Lett. 16, 3341 (2016).
M. Radtke, R. Nelz, A. Slablab, and E. Neu, Micromachines 10, 718 (2019).
D. Rani, O. R. Opaluch, and E. Neu, Micromachines 12, 36 (2021).
B. Regan, A. Trycz, J. E. Fröch, O. C. Schaeper, S. Kim, and I. Aharonovich, Nanoscale 13, 8848 (2021).
Y. Tao, J. M. Boss, B. A. Moores, and C. L. Degen, Nat. Commun. 5, 3638 (2014), arXiv: 1212.1347.
L. Li, I. Bayn, M. Lu, C. Y. Nam, T. Schröder, A. Stein, N. C. Harris, and D. Englund, Sci. Rep. 5, 7802 (2015).
A. Faraon, P. E. Barclay, C. Santori, K. M. C. Fu, and R. G. Beau-soleil, Nat. Photon. 5, 301 (2011), arXiv: 1012.3815.
J. Liu, H. Tian, E. Lucas, A. S. Raja, G. Lihachev, R. N. Wang, J. He, T. Liu, M. H. Anderson, W. Weng, S. A. Bhave, and T. J. Kippenberg, Nature 583, 385 (2020), arXiv: 1912.08686.
C. Qiu, B. Wang, N. Zhang, S. Zhang, J. Liu, D. Walker, Y. Wang, H. Tian, T. R. Shrout, Z. Xu, L. Q. Chen, and F. Li, Nature 577, 350 (2020).
Author information
Authors and Affiliations
Corresponding authors
Additional information
This work was supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 61234003, 61434004, and 61504141), National Key Research and Development Program of China, and CAS Interdisciplinary Project (Grant No. KJZD-EW-L11-04).
Rights and permissions
About this article
Cite this article
Liu, J., Bo, F., Chang, L. et al. Emerging material platforms for integrated microcavity photonics. Sci. China Phys. Mech. Astron. 65, 104201 (2022). https://doi.org/10.1007/s11433-022-1957-3
Received:
Accepted:
Published:
DOI: https://doi.org/10.1007/s11433-022-1957-3